中科科儀 | 做中國自己的電子顯微鏡，打好科技儀器設備攻堅戰
習近平總書記強調：“要打好科技儀器設備、操作系統和基礎軟件國產化攻堅戰，鼓勵科研機構、高校同企業開展聯合攻關，提升國產化替代水平和應用規模，爭取早日實現用我國自主的研究平臺、儀器設備來解決重大基礎研究問題。”
科技儀器研發水平是創新實力的體現，也在很大程度上決定著基礎研究和新技術、新產品開發的廣度和深度。從歷史上看，許多重大科學研究成果的突破，通常以科學儀器和技術手段的創新為先導。上世紀50年代，抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，我國光學事業奠基人王大珩帶領團隊攻關，獲得一系列創新成果，為相關國產精密儀器發展奠定了基礎，推動了光學研究的進步。從未來發展趨勢看，隨著科學研究、技術開發向物質極端尺度推進，科技儀器設備發揮的作用將更為關鍵。
——《人民日報》
（一）自主創新，發展中國自己的電子光學技術
王大珩院士曾指出“儀器是認識世界的工具！”電子顯微鏡正是認識亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具。正如《人民日報》提到的，上世紀50年代，我國光學事業奠基人王大珩等人在制定我國《1956～1967年科技發展遠景規劃綱要》時提出了要研制電子顯微鏡的想法，并成立了儀器規劃小組。
抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，王大珩院士帶隊攻關，獲得一系列創新成果，為相關國產精密儀器發展奠定了基礎，推動了光學研究的進步。
1958年8月，攻關團隊在長春光機所研制成功我國第一臺“自制”的中型電子顯微鏡DX-100(I)（也稱XD-100(I)），分辨率10nm，開創了中國制造電子顯微鏡的歷史。
我國第一臺電子顯微鏡DX-100(I)
（二）繼往開來，走好中科科儀電鏡產業化之路
根據《科技十年發展規劃綱要》的要求，中國科學院科學儀器廠（后轉制成為北京中科科儀股份有限公司，本文統稱“中科科儀”），作為中科院重要的科研儀器研制單位，開始承擔試制高分辨率電子顯微鏡的任務。1963年，為了集中優勢技術力量進行攻關，原長春光機所從事電子顯微鏡研制工作的骨干研究團隊調入中科科儀。
中科科儀電子光學研發團隊立足于“自行設計為主，參考樣機為輔”的技術路線，加強關鍵核心部件的試驗，致力于研發我國自主設計的透射電子顯微鏡。
1965年，中科科儀研制成功DX-2型透射電子顯微鏡，點分辯本領達5?，達到國際先進水平，這款電鏡被“全國儀器儀表新產品展覽會”列為重大新產品在展館展出。
DX-2型透射電子顯微鏡
上世紀70年代，基于深厚的電子光學技術基礎和產業化能力，中科科儀開始承擔中科院關于掃描電子顯微鏡的試制任務，自主研制中國自己的掃描電子顯微鏡。
1975年，中科科儀研制成功我國第一臺DX-3型掃描電子顯微鏡，樣機通過了來自全國各地30多個單位，60多名代表的鑒定測試，分辨率優于10nm，主要指標達到當時國際先進水平。
DX-3型掃描電子顯微鏡
1978年，DX-3掃描電子顯微鏡榮獲科學大會一等獎和中國科學院重大科技成果獎一等獎，“科儀廠掃描電鏡組”榮獲國務院總理親筆題詞的榮譽證書。DX-3型掃描電鏡，總計生產了近百臺，為我國的科研事業的發展做出突出貢獻，這既是我國高端科學儀器研制工作的成功，也是電鏡產業化發展的巨大勝利。
華國鋒親筆題詞的榮譽證書
此后，中科科儀電子光學研發團隊持續創新發展，先后研制出我國第一臺高分辨大型透射電子顯微鏡DX-4型、第一臺帶有數字圖像處理功能的掃描電子顯微鏡KYKY-2000型、第一臺全計算機控制的掃描電子顯微鏡KYKY-3800型、第一臺低真空掃描電子顯微鏡KYKY-EM6900LV型，實現國內領域多項零的突破，始終走在國產科技儀器設備自主創新之路的最前沿。
（三）劈波斬浪，打好國產科技儀器設備攻堅戰
為提高我國科學儀器設備的自主創新能力和自我裝備水平，2013年，中科科儀作為牽頭單位，勇擔國產電鏡創新發展重任，揭榜國家重大科學儀器設備開發專項——“場發射槍掃描電子顯微鏡開發與應用”項目，續寫國產高端科學儀器自主研發與產業化發展新篇章。
2014年，中科科儀突破了多項技術壁壘，研制成功我國首臺場發射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8000，分辨率優于1.5nm，打破了國外的技術和市場壟斷。
2017年，中科科儀研制成功KYKY-EM8100高分辨場發射槍掃描電鏡，分辨率突破至1.0nm，達到最新國際一流水平，并成功實現產業化。
KYKY-EM8100型場發射槍掃描電子顯微鏡
由“0”到“1”，再到“100”，一代代科儀人始終永葆初心、矢志奮斗，繼承和發揚老一輩“電鏡人”的創新精神和嚴謹作風，詮釋新一代擔當，不斷突破關鍵核心技術，為國產高端科學儀器發展貢獻青春力量。
當前科學儀器設備市場空間大，國產替代彈性高，應用場景廣，國產科學儀器研發和應用推廣大有可為。作為國家戰略科技力量投資興辦的企業，中科科儀將牢牢抓住建設世界科技強國帶來的發展新機遇，積極聯合攻關，永續創新，打好科技儀器設備國產化攻堅戰，為基礎研究和技術創新提供更多得心應手的強大工具，為我國前沿科學研究和戰略新興產業發展不懈奮斗！
