上海市計量測試技術研究院科研項目獲2022年度國家自然科學基金資助
時間：2022-10-20 來源：上海市計量測試技術研究院/中國上海測試中心
近日，上海市計測院微納米計量與儀器研發創新團隊的“基于光學探針干涉的三維微接觸測量機理及技術研究”項目，經申報獲2022年度國家自然科學基金青年科學基金項目資助。
國家自然科學基金青年科學基金項目堅持支持基礎研究，注重培養青年科技人員獨立主持科研項目、進行創新研究的能力，激勵青年科技人員的創新思維，培育基礎研究后繼人才。
項目擬提出一種基于光學探針干涉的三維微接觸測頭模型。利用探針干涉高靈敏度、高精度的傳感特性，尋求建立基于該方法的測頭傳感機理及位移傳遞機制；設計三軸測量力一致的懸掛結構，實現三軸分辨力、剛度各向同性的三維微接觸測頭開發。
我國裝備制造要由中低端向中高端邁進，核心關鍵是解決超精密測量能力問題。項目研制成功后，將在測頭傳感機理和位移傳遞機制方面取得創新成果。突破微納測頭剛度、分辨力各向同性等關鍵技術難題；解決半導體、航空航天、精密制造中高深寬比、自由曲面、側壁及邊沿等復雜微結構的測量和表征問題。將滿足微納制造中不斷縮小的特征尺寸與不斷提高的測量精度的趨勢要求，對推動微納坐標測量技術發展具有重要意義。
